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研究了用于SG-II装置光束精密瞄准的激光束自动控制系统。用傅里叶光学分析可知,探测激光束位置取 于空间滤波器像传递面,这时近远......

传统的光束漂移测量及校正系统结构复杂、实时性低。针对这一问题，提出了一种基于散焦光栅成像装置的光束对准系统，该系统利用±1级......

光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一，两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对......

Laser beam alignment is very important for high-power laser facility. Long laser path and large-aperture lens for alignm......